日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵

簡要描述：日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵
? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
? 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
? 低振動低噪音。

產(chǎn)品型號： DIS-90

所屬分類：真空泵

更新時間：2024-08-14

詳細(xì)說明：

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵一、特性

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

• 低振動低噪音。

• 維護(hù)周期可通過計(jì)時表控制。

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵二、應(yīng)用

• 分析設(shè)備

• 氣體回收系統(tǒng)

• 涂料設(shè)備• TMP 前級泵

• 氦滲漏探測器

• 半導(dǎo)體制造工藝

三、規(guī)格參數(shù)

四、外形圖

五、泵數(shù)曲線

六、對應(yīng)電壓與認(rèn)證

電壓	現(xiàn)行電壓	CE 認(rèn)證	CSA 認(rèn)證
單相, 100V / 115V (60Hz)/ 200-230V	標(biāo)準(zhǔn)